今まで見えなかったSiCの不良を「見える化」! パワー半導体の開発を加速させる不純物解析

SiCウエハーの3Dイメージング分析の事例 提供:東レリサーチセンター

SiCウエハーの3Dイメージング分析の事例 提供:東レリサーチセンター